半导体设备异常处理机制方法的研究  

Researching An Method of Exception Handing Mechanism in Semiconductor Equipment

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作  者:宫晨[1] 宋丽娟[1] 刘玉倩[1] 

机构地区:[1]中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京101601

出  处:《电子工业专用设备》2011年第10期51-54,共4页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘  要:针对半导体设备自动化水平的不断提高,设计一种多线程多等级划分的异常处理机制,并根据设备自身特性,灵活采用软硬件结合或软件异常处理方式去处理设备的异常。This paper designed a multithreading and hierarchical exception handing mechanism for the rising automation level of semiconductor equipment. According to the character of the semiconductor equipment, designer can choice the combination of hardware and software or software mode to handing the excpetion of equipment.

关 键 词:半导体设备 多线程 多等级 异常处理 

分 类 号:TN305[电子电信—物理电子学]

 

参考文献:

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