宫晨

作品数：9被引量：15H指数：3
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供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
发文主题：全自动引线键合机半导体设备图像映射以太网更多>>
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一种半导体设备的软件自动化测试平台设计
《电子工业专用设备》2024年第6期38-42,共5页宫晨 付纯鹤 郑佳晶 高荣荣 张叶 
针对大型半导体设备软件组件众多、多人并行开发、离线环境开发周期长、真实场景集成周期短的特点,提出了一种软件自动化测试平台的实现方法,该方法提供了自动化测试平台、虚拟仿真平台,能够仿真硬件环境,定时对软件进行自动构建、自动...
关键词：半导体设备 软件自动化测试 虚拟仿真 
曝光剂量精度误差分析研究被引量：1
《电子工业专用设备》2022年第5期10-12,23,共4页高爱梅 宫晨 张乾 黄晓鹏 
曝光剂量精度是光刻工艺中重要的控制参数,从剂量控制模型出发,分析了影响剂量精度的因素并建立误差模型,进一步将需求指标分解到各误差项,作为剂量控制系统的设计输入;通过试验测试剂量精度和重复精度满足设计需求,验证了剂量误差模型...
关键词：剂量精度 剂量重复精度 曝光剂量 线宽均匀性 
基于PLC的温度控制系统设计被引量：4
《电子工业专用设备》2014年第1期39-41,共3页刘玉倩 宫晨 马鹏飞 
在工业控制设备中,温度控制直接决定设备工艺效果。介绍了一种基于OMRON公司EJ1模块式温控器的温度控制系统,工控机通过以太网与PLC通讯,通过软硬件设计达到温度控制效果。利用VC++编程平台编写软件,建立友好的人机交互界面,设置每个温...
关键词：以太网 温度控制 远程监控 
全自动光刻机的同步控制方法
《电子工业专用设备》2013年第11期50-53,共4页宋丽娟 宫晨 
对于一种包含多个相对独立又彼此干涉机构的全自动光刻机,设计合理的控制方法才能使各个机构高效而稳定地协同工作。按照机械结构将设备划分为4个控制对象,采用同步控制方法使这4个对象实现并行工作。这种控制方法相对于顺序执行工艺流...
关键词：多机械手 同步控制 全自动光刻机 
接触接近式曝光机曝光方式浅析及实例被引量：4
《电子工业专用设备》2012年第6期24-25,30,共3页李霖 周庆奎 宫晨 
不同的曝光方式适应不同的曝光工艺,对接触接近式曝光机的曝光方式进行了研究,分析了不同曝光方式适用的场合。并给出了一个通过改进曝光方式实现曝光工艺的成功实例,进一步证明了将产品生产工艺知识融入到半导体设备设计研发过程中的...
关键词：曝光机 曝光方式 曝光工艺 必要性 
晶片映射系统原理及实现算法研究
《电子工业专用设备》2011年第10期37-40,共4页宫晨 高小虎 侯为萍 
介绍了晶片映射系统及其原理。该系统修正了机械手采用传统方式自动取片时执行效率低、料片状态无纠错功能的弊端,并详细论述了该系统的实现细节及算法。
关键词：机械手 晶片 映射 
半导体设备异常处理机制方法的研究
《电子工业专用设备》2011年第10期51-54,共4页宫晨 宋丽娟 刘玉倩 
针对半导体设备自动化水平的不断提高,设计一种多线程多等级划分的异常处理机制,并根据设备自身特性,灵活采用软硬件结合或软件异常处理方式去处理设备的异常。
关键词：半导体设备 多线程 多等级 异常处理 
基于面向对象的全自动引线键合机软件设计被引量：1
《电子工业专用设备》2006年第8期72-75,共4页宫晨 刘晓斌 姜凯 
在设备软件研发过程中,利用面向对象的思想,将经过需求分析后功能初步明确的软件,进行模块化划分,并运用面向对象的抽象、封装、继承、多态四大特征进行设计。介绍了用面向对象的思想进行全自动引线键合机软件设计。
关键词：面向对象 抽象 封装 继承 多态 
全自动引线键合机校正系统设计与实现被引量：5
《电子工业专用设备》2005年第12期30-33,共4页易辉 刘晓斌 宫晨 
简要阐述了键合机中校正系统设计,包括伺服系统校正,图像系统校正,物料系统校正等。
关键词：引线键合机 校正 图像映射 
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