EV Group推出全新Gemini FB系列旗舰级融合接合系统提供更高产出量与自动化功能  

出　　处：《电子工业专用设备》2011年第10期65-65,共1页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：微机电系统（MEMS）、纳米技术与半导体晶圆接合与微影技术设备领导厂商EVGroup（EVG），日前宣布推出旗下经业界验证与肯定的GeminiFB融合接合机系列之全新旗舰机型。

关 键 词：微机电系统 GEMINI 自动化功能 旗舰 产出量 EV FB 技术设备 

分 类 号：TN85[电子电信—信息与通信工程]