薄膜型集成温——湿度传感器  

作　　者：李云鹏[1] 孙承松[1] 周立萍[1] 吕力川 

机构地区：[1]沈阳工业大学 [2]沈阳仪器仪表工艺研究所

出　　处：《仪表技术与传感器》1990年第4期30-32,39,共4页Instrument Technique and Sensor

摘　　要：文章推出一种温—湿度一体化的传感器,该传感器以硅片为基础材料,用扩散法制成P—N结做测温元件,测湿元件是用高频溅射法制成的复合氧化物湿敏薄膜,湿敏膜的加热清洗可用敏感膜下面的扩散电阻加热器进行。这种一体化的传感器使用方便、响应快,且容易做到一致性和互换性。该传感器制作中完成了薄膜工艺与硅平面工艺的兼容和金属氧化物材料与硅材料的兼容。文章讨论了有机敏感机理、给出主要制造工艺和特性。

关 键 词：薄膜型 集成 传感器 温度 湿度 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]