在70m^3容器中获得5×10^(-8)Pa 的超高真空  

THE ATTAINMENT OF VHV 5×10^(-8)Pa IN VOLUME 70m^3

作　　者：邹定忠[1] 陈欣昔[1] 

机构地区：[1]北京卫星环境工程研究所,北京100029

出　　处：《航天器环境工程》1999年第4期17-26,共10页Spacecraft Environment Engineering

摘　　要：KM3设备是一个容积为70m^3的大型空间模拟器。1993年将原来用油扩散泵作为主抽气泵的有油抽气系统改造成为用制冷机低温泵的无油抽气系统,并将系统的空载极限真空由9.3×10^(-7)Pa 提高到5×10^(-8)Pa。该系统不仅填补了国内新一代大型无油超高真空系统的空白,而且在国际上也属领先水平。在设计中采用了分压强的概念,深入分析了各种气体成分的影响,成功地解决了所遇到的一系列理论和实际问题,为今后无油系统的设计提供了经验。文中详细介绍了按系统内各种不同气体的分压来进行设计的方法和为获得超高真空所采取的主要技术措施。KM3 facility is a large space environment simulator of volume 70m^3,located at Beijing Institute of Spacevraft Environment Engineering.It was converted from an oil difusion pumping system to a cryopumped oil-free pumping systems in 1993.Its ultimate pressure improves from 9.3×10^(-7)Pa to 5×10^(-8)Pa.This article describes the design method and the key technics for attainment

关 键 词：无油超高真空系统 制冷机低温泵 

分 类 号：V416[航空宇航科学与技术—航空宇航推进理论与工程]