制冷机低温泵

作品数：16被引量：26H指数：3
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相关作者：邵容平孙立臣赵月帅史纪军李征更多>>
相关机构：北京卫星环境工程研究所东南大学安徽万瑞冷电科技有限公司信息产业部更多>>
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集成电路制造用制冷机低温泵发展现状被引量：2
《真空》2022年第2期42-47,共6页冯欣宇 杨杨 
以GM制冷机为核心部件的低温泵是一种超高真空获得设备,凭借其自身的特点与优势,已广泛应用于集成电路制造工艺与设备中。近年来,中国集成电路制造装备及成套工艺快速发展,作为重要零部件的低温泵需求量也随之增大。介绍了国内集成电路...
关键词：集成电路 低温泵 发展现状 
制冷机低温泵控制器设计被引量：2
《低温与超导》2019年第7期24-28,共5页冯欣宇 邓家良 曾环 韩雨松 
国产集成电路装备零部件量产应用工程——低温真空泵开发及产业化项目(2014ZX02001-003)资助
制冷机低温泵产品配置专用控制器,其目的是实现自动完全再生、获取运行状态信息、提供远程监控接口与操作,提高低温泵产品的自动化水平。在充分研究主流制冷机低温泵产品的基础上,针对12英寸以下口径低温泵,设计了专用控制器,介绍了器...
关键词：制冷机 低温泵 控制器 加热功率 
空间环模设备用大口径制冷机低温泵研制技术现状和发展被引量：4
《真空》2018年第1期1-6,共6页孙立臣 赵月帅 李明利 孟冬辉 邵容平 史纪军 
空间环境模拟器主要用来完成航天器地面真空、热试验,一般真空室体积大、内部结构复杂,容器真空度高、产品放气量大、要求清洁真空避免油污染。因此,国内外环模设备高真空系统一般采用抽速大、极限真空高的大口径低温泵作为主泵。大口...
关键词：空间环境模拟 低温真空泵 制冷机 冷屏 障板 
用制冷机低温泵获得清洁无油高真空被引量：9
《航天器环境工程》2006年第2期119-121,共3页茹晓勤 祁妍 吴树迎 
制冷机低温泵以其抽速大和无污染的特点,在各行各业得到了广泛的应用。文章介绍了制冷机低温泵的工作原理、结构和特点,以及在国外空间环境模拟设备上的使用情况。着重介绍了自主设计生产的制冷机低温泵在国内最大的空间环境模拟设备中...
关键词：制冷机 低温泵 清洁 无油 环境模拟设备 结构和特点 自主设计 使用情况 外空间 工作原理 无污染 高真空 应用 生产 国内 调试 测量 
制冷机低温泵的故障及排除被引量：3
《真空》2001年第6期45-49,共5页任卫祥 任家生 
制冷机低温泵的冷源是小型制冷机。制冷机在日常运行中可能发生种种故障 ,对制冷机的制冷能力和制冷温度都有明显的影响 ,亦对泵的抽气特性产生影响。本文着重讨论制冷机在日常运行中可能发生的种种故障。
关键词：制冷机 低温泵 故障 排除方法 原因分析 维修 结构 工作原理 
制冷机低温泵自动再生系统的研究被引量：2
《低温与超导》2001年第1期8-21,共14页龙瑛 陈家富 严善仓 
制冷机低温泵应用广泛 ,但连续运转时再生必不可少。文中介绍了由单片机组成的制冷机低温泵自动再生系统 ,对再生过程进行了讨论 ,再生参数可由用户设定 ,因此具有自动化程度高 ,使用灵活方便等特点 ,可得到广泛的应用。
关键词：制冷机 低温泵 自动再生系统 再生过程 
制冷机低温泵的再生被引量：3
《真空》2000年第1期29-31,共3页邹紧跟 赵秀岩 
本文介绍了制冷机低温泵的几种典型的再生方法 。
关键词：再生 低温泵 制冷机 冷头温度测量 
在70m^3容器中获得5×10^(-8)Pa 的超高真空被引量：1
《航天器环境工程》1999年第4期17-26,共10页邹定忠 陈欣昔 
KM3设备是一个容积为70m^3的大型空间模拟器。1993年将原来用油扩散泵作为主抽气泵的有油抽气系统改造成为用制冷机低温泵的无油抽气系统,并将系统的空载极限真空由9.3×10^(-7)Pa 提高到5×10^(-8)Pa。该系统不仅填补了国内新一代大型...
关键词：无油超高真空系统 制冷机低温泵 
索尔文制冷机低温泵被引量：1
《真空与低温》1997年第1期1-4,共4页罗吉友 
介绍自己研制的索尔文制冷机低温泵的压缩净化机组、改进型索尔文两级膨胀机以及低温泵体的设计及特点。目前已完成低温泵的中试生产，开始批量生产。
关键词：制冷机 低温泵 抽气 
Slovay制冷机低温泵
《四川真空》1996年第3期1-5,共5页罗吉庆 杨鸿儒 
介绍我们自己研制的Ｓｏｌｖａｙ制冷机低温泵的压缩净化机且，改进型Ｓｏｌｖａｙ两级膨胀机以及低温泵体的设计及特点，目前已完成低温泵的中试生产，开始批量投产。
关键词：制冷机 低温泵 
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