冯欣宇

作品数：15被引量：32H指数：3
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半导体PVD用200mm口径低温泵性能测试研究
《真空》2023年第5期75-80,共6页邓家良 曾环 杨杨 冯欣宇 武义锋 
国家科技重大专项课题(2014ZX02001-003)。
降温时间、最低工作压力、抽速和抽气容量是低温泵的关键性能参数,本文设计并搭建了综合性能测试平台对200mm口径低温泵ICP200N进行了系统测量和分析。结果表明,ICP200N低温泵降温时间小于90min;无烘烤条件下最低工作压力可达10^(-7)Pa...
关键词：低温泵 降温时间 最低工作压力 抽速 抽气容量 
集成电路制造用制冷机低温泵发展现状被引量：2
《真空》2022年第2期42-47,共6页冯欣宇 杨杨 
以GM制冷机为核心部件的低温泵是一种超高真空获得设备,凭借其自身的特点与优势,已广泛应用于集成电路制造工艺与设备中。近年来,中国集成电路制造装备及成套工艺快速发展,作为重要零部件的低温泵需求量也随之增大。介绍了国内集成电路...
关键词：集成电路 低温泵 发展现状 
气相清洗机系统设计被引量：2
《机械工程与自动化》2019年第5期139-140,共2页冯欣宇 胡钱旺 俞杰 
气相清洗技术应用于军用厚膜电路组装、裸芯片基板微组装等工艺流程,既可以清除污垢,提高印刷电路板各组件的可靠性和寿命,又可以暴露热损伤等缺陷,提高产品质量检验的准确性。设计了气相清洗机系统,并对其工作原理、组成、热力学计算...
关键词：气相清洗机 热力学计算 工作原理 
制冷机低温泵控制器设计被引量：2
《低温与超导》2019年第7期24-28,共5页冯欣宇 邓家良 曾环 韩雨松 
国产集成电路装备零部件量产应用工程——低温真空泵开发及产业化项目(2014ZX02001-003)资助
制冷机低温泵产品配置专用控制器,其目的是实现自动完全再生、获取运行状态信息、提供远程监控接口与操作,提高低温泵产品的自动化水平。在充分研究主流制冷机低温泵产品的基础上,针对12英寸以下口径低温泵,设计了专用控制器,介绍了器...
关键词：制冷机 低温泵 控制器 加热功率 
LabWindows/CVI 13.0串行通信应用被引量：4
《机械工程与自动化》2016年第6期55-57,共3页黄阿娟 冯欣宇 
以4通道低温测量仪表为例,详细介绍了在LabWindows/CVI 13.0开发环境下,使用RS-232串行端口与自由通信协议实现低温测量数据上位机采集的方法。
关键词：LABWINDOWS/CVI 13.0 串行通信 通信协议 
贝加莱PCC构建氦气回收设备控制系统被引量：1
《自动化仪表》2016年第3期39-41,46,共4页冯欣宇 何智 杨家涛 
国产氦气在线回收和纯化设备已成功应用于光纤制造及大型浮空器工程。针对氦气工业化及国防需要的特殊应用环境,分析了设备的工作流程与电气特点,选用具有高可靠性及三防性能的电气元件,提出了以高可靠性可编程计算机控制器为核心的电...
关键词：PCC 高可靠性 氦气回收 制冷控制系统 PLC ST语言 CAN总线 
热变形测量相机真空保护罐系统被引量：1
《低温与超导》2016年第2期10-12,共3页黄阿娟 陈耀锋 冯欣宇 
近年来,摄影测量技术研究不断深入,已广泛应用于航天器变形测量、大型飞机机翼动态测量、大型雷达天线阵面测量、卫星天线热真空变形测量等航空、航天与卫星通信领域。针对太空中热变形摄影测量的特殊性,设计了带监控系统的热变形测量...
关键词：热变形 摄影测量 真空 保护罐 
6W隔离反激式AC/DC电源设计被引量：2
《现代电子技术》2015年第16期152-155,共4页冯欣宇 黄阿娟 
介绍了基于UCC28910的5V／1．2A隔离反激式开关电源。电路结构简单，所需外部元件较少，有效减少了电路板占用面积。电源可实现AC85-265V宽电压输入，在无需光耦合器的情况下实现恒定电压与恒定电流输出。具有700V高压启动和小于30mw待...
关键词：反激式开关电源 UCC28910 AC/DC电源 高压启动 
示波器探头使用入门
《电工技术（下半月）》2015年第4期93-94,共2页黄阿娟 冯欣宇 
影响示波器高质量测量的因素很多，探头是其中关键因素之一。通过探头引入被探测电路的干扰必须达到最小，并应具有非常高的信号保真度。从探头的原理、特点、常用类型、主要指标、选型方法、安全注意事项几方面做了较为详尽的介绍。
关键词：示波器 探头 使用 
“一拖三”氦压缩机低成本控制实现被引量：1
《机械工程与自动化》2014年第2期149-151,共3页冯欣宇 黄阿娟 武义锋 
国家科技重大专项基金资助项目(2014ZX02001-003)
利用电路印刷板用小型继电器及增强型51单片机,实现对大气量氦压缩机的低成本控制,使其同时可以为3台G-M制冷机提供高压氦气。控制器采集压缩机运行相关参数,具备必要的保护措施,并实现远程控制。在完成控制功能的同时,使整个控制系统...
关键词：氦压缩机 增强型51内核 低成本控制 
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