微型惯性测量组合的关键技术  

Key Technologies of Micro Inertial Measurement Unit

作　　者：丁衡高[1] 章燕申[1] 马新宇[1] 张斌[1] 

机构地区：[1]清华大学

出　　处：《仪器仪表学报》1996年第S1期31-35,共5页Chinese Journal of Scientific Instrument

摘　　要：采用微米／纳米技术的微型惯性测量组合具有低成本、长寿命和高可靠性等优点，本文论述了国外这项技术的发展动向，提出了微硅及微型光学惯性器件关键技术的研究任务。Adopting the micro/nano technology, the Micro Inertial Measurement Unit has. many advantages such as low cost,long life and high reliability.The paper analyzes the key technologies in its worldwide development and its future tendency.Some research tasks concerning these key technologies for the Micro Silicon and Micro Optical inertial devices are proposed.

关 键 词：微型惯性测量组合 关键技术 环形光波导 零偏稳定性 技术关键 加速度计 品质因数 纳米技术 微型光学陀螺仪 声光移频器 

分 类 号：TH70[机械工程—仪器科学与技术]