丁衡高

作品数：10被引量：80H指数：5
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微米纳米科学技术发展及产业化启示被引量：3
《纳米技术与精密工程》2007年第4期235-241,共7页丁衡高 朱荣 
近年来,微米纳米科学技术发展迅速,在产业化方面已经取得了不少进展.本文从发展现状和趋势上,结合我国具体情况,阐述了以下观点:开展创新工艺和设计方法研究,提高微机电(MEMS)应用和产业化能力;开展基础研究,提高MEMS器件和系统的水平;...
关键词：微机电系统 纳米科技 发展现状与趋势 
静电悬浮微机械加速度计设计被引量：6
《清华大学学报（自然科学版）》2007年第2期181-185,共5页刘云峰 丁衡高 董景新 
国家"十五"科技攻关项目(41308050103)
设计了一种基于静电悬浮原理的微机械加速度计。它采用三明治结构的微敏感元件,电容式位移检测方案及静电力悬浮控制方案。着重对敏感元件的主要结构设计、参数的选取、支承静电力的计算以及量程极限、精度极限等问题进行了分析,表明在...
关键词：导航设备 微机械 静电悬浮 加速度计 量程 
微惯性仪表技术的研究与发展被引量：12
《中国惯性技术学报》2001年第4期46-49,73,共5页丁衡高 王寿荣 黄庆安 裘安萍 万德钧 周百令 苏岩 
论述了当前国内外微惯性仪表设计和制造技术的研究与发展,强调了对相关基础理论研究的重要性,提出了计算机集成微制造单元的概念。
关键词：微惯性仪表 微机械陀螺 计算机集成微制造单元 微惯性测量组合 微机电系统 
一种微型隧道效应磁强计的设计被引量：1
《仪表技术与传感器》2000年第8期16-17,34,共3页朱俊华 丁衡高 叶雄英 
隧道效应传感器是一种灵敏度很高的位移传感器 ,其原理已经被用于微加速度计和红外传感器的设计。文中介绍了基于这一原理的微型磁强计 ,对传感器的固有频率和驱动电压进行了分析和计算。
关键词：MEMS 隧道效应磁强计 设计 
集成光学角速度传感器系统方案的研究被引量：9
《中国惯性技术学报》1999年第4期50-54,共5页丁衡高 伍晓明 马新宇 胡朝阳 张斌 章燕申 
九五国防预研项目"光波导陀螺研究"!(8 .7 .1 .7)
本文研究了谐振型和干涉型两类集成光学角速度传器（Ｒ－ ＩＯＲＳ 和Ｉ－ ＩＯＲＳ） 的系统方案，设计了两种Ｒ－ ＩＯＲＳ 的光纤仿真实验装置：反射式和透射式，并介绍了对它们的实验研究结果。文中还提出了一种再入式Ｉ－ ＩＯＲ...
关键词：集成光学角度速度传感器 Sagnac效应敏感环(SSR) 系统方案 
微型光学陀螺仪中声表面波声光移频器的研究被引量：3
《清华大学学报（自然科学版）》1999年第2期65-67,共3页张斌 潘珍吾 丁衡高 里.尼.阿斯尼斯 
国防科工委"九五"预研重点项目
微型光学陀螺仪是基于Ｓａｇｎａｃ效应，采用先进的集成光学技术研制的新型光学陀螺仪。研制微型光学陀螺仪的关键在于用频率调制来实现频率伺服，对主要误差进行有效抑制，实现高精度Ｓａｇｎａｃ频差测量。声表面波声光移频器正是解...
关键词：微型光学陀螺仪 声表面波 声光移频器 陀螺仪 
谐振式光纤陀螺中全保偏环形谐振腔的研究被引量：1
《清华大学学报（自然科学版）》1999年第2期68-70,共3页马新宇 潘珍吾 丁衡高 
国防科工委"九五"预研项目
对谐振式光纤陀螺中全保偏环形谐振腔及其定向耦合器进行了理论和实验研究，推导了谐振条件的解析表达式，并分析了谐振腔基本参数对谐振特性的影响。通过压电陶瓷对光纤谐振腔进行调制，记录输出特性曲线，得到了保偏环形谐振腔的谐振...
关键词：谐振式光纤陀螺 光纤谐振腔 保偏光纤 陀螺仪 
叉指式硅微加速度计的结构设计被引量：21
《清华大学学报（自然科学版）》1998年第11期38-41,共4页袁光 丁衡高 高钟毓 董景新 
国防科工委重点预研项目
为了满足对中等精度的微机械加速度计的需求，讨论了一种硅片溶解法制造的平面叉指式加速度计，其敏感轴平行于检测质量平面。为了分析该种加速度计的分辨率和固有频率，分析了其机械模型和数值解，并且用有限元方法对几种设计尺寸进行...
关键词：加速度计 有限元 叉指式 硅微加速度计 
微机电系统的科学研究与技术开发被引量：22
《清华大学学报（自然科学版）》1997年第9期1-5,共5页丁衡高 
国防预研项目
着重论述了当前国际上微机电系统的相关基础理论研究、微机电系统制造工艺技术的发展、微机电系统发展动态与趋势，最后强调了探索适合我国国情的微机电系统发展途径的重要性。
关键词：微机电系统(MEMS) 微机械 微惯性测量组合(MIMU) 
微型惯性测量组合的关键技术被引量：3
《仪器仪表学报》1996年第S1期31-35,共5页丁衡高 章燕申 马新宇 张斌 
采用微米／纳米技术的微型惯性测量组合具有低成本、长寿命和高可靠性等优点，本文论述了国外这项技术的发展动向，提出了微硅及微型光学惯性器件关键技术的研究任务。
关键词：微型惯性测量组合 关键技术 环形光波导 零偏稳定性 技术关键 加速度计 品质因数 纳米技术 微型光学陀螺仪 声光移频器 
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