微惯性仪表技术的研究与发展  

Research and Development of Micro Inertial Instruments

作　　者：丁衡高[1] 王寿荣[1] 黄庆安[1] 裘安萍[1] 万德钧[1] 周百令[1] 苏岩[1] 

机构地区：[1]东南大学,江苏南京210096

出　　处：《中国惯性技术学报》2001年第4期46-49,73,共5页Journal of Chinese Inertial Technology

摘　　要：论述了当前国内外微惯性仪表设计和制造技术的研究与发展,强调了对相关基础理论研究的重要性,提出了计算机集成微制造单元的概念。In this paper, the research and development for the design and fabrication technique of micro inertial instruments are presented with emphasis on the fundamental theory. A viewpoint about the computer- integrated micro manufacture unit is proposed.

关 键 词：微惯性仪表 微机械陀螺 计算机集成微制造单元 微惯性测量组合 微机电系统 

分 类 号：TH703.8[机械工程—仪器科学与技术] TH－39[机械工程—精密仪器及机械]