用于纳米级加工的特种加工技术  

Non-conventional Machining Methods for Nano Machining

作　　者：赵家齐[1] 郭永丰[1] 刘永红[1] 赵万生[1] 

机构地区：[1]哈尔滨工业大学

出　　处：《仪器仪表学报》1995年第S1期42-46,共5页Chinese Journal of Scientific Instrument

基　　金：博士点导师基金

摘　　要：概要地论述了多种可用于纳米级微细加工的特种加工技术，诸如电子束加工、离子束加工、激光束加工、隧道式近场放电加工、微细电火花加工、微细电铸加工和复合加工等。论述了这些特种加工技术的基本原理和主要应用范围。Non─conventional machining methods suitable for nano machining,such aselectron beam machining,ion beam machining,laser beam machining,tunnel electri-caldischarg machining,micro electrical discharge machining,micro electroforming and com-pound machining etc.are discussed.This paper also discusses the ultimate principles and themain field of application of these non-convetional machining methods.

关 键 词：特种加工技术 纳米级 微细电火花加工 电解加工 电铸加工 微细加工 电子束加工 离子束加工 激光束加工 表面热处理 

分 类 号：TG66[金属学及工艺—金属切削加工及机床]