利用微机械技术的谐振器及集成光学传感器研究  

Study on Resonators and OEIC Sensors with Micromechanical Technology

作　　者：王跃林[1] 金仲和[1] 丁纯[1] 徐义刚[1] 

机构地区：[1]浙江大学

出　　处：《仪器仪表学报》1995年第S1期331-335,共5页Chinese Journal of Scientific Instrument

基　　金：国家重点自然科学基金;霍英东青年教师基金

摘　　要：本文以硅微机械技术为基础研究了微谐振器和集成光学传感器。讨论了不同激励与检测方式下的谐振器的理论、工艺及其性能。并研究了以硅脊形波导为基础制作集成光学传感器的理论与工艺问题。Abstract This paper studied micro-resonators and OEIC sensors which are basedon micromechanicaI technology.It also discusses the theory,technology and properties ofthe resonators with different exciting and sensing methods,Last,it studies the theory andtechnology of OEIC sensors that is based on the silicon guide.

关 键 词：集成光学 微谐振器 微机械技术 激励电压 悬臂梁 品质因素 硅微机械 谐振传感器 脊形波导 加热电阻 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]