微谐振器

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加工误差影响下微谐振器的非线性分析
《天津理工大学学报》2025年第1期23-28,共6页赵懿炜 王冲 冯晶晶 
国家自然科学基金(12072233,12072234);天津市自然科学基金(20JCYBJC00510)。
微梁在加工过程中,由于加工精度的限制以及偏置的加工方法,导致其形状发生变形,出现浅拱形态。这种加工误差存在的方式可归结为微梁厚度方向上的变形和初始变形,将影响微谐振器的非线性特性。文中同时考虑微谐振器模型的初始变形与厚度...
关键词：初始变形 厚度误差 微谐振器 多尺度法 RUNGE-KUTTA法 
一种压电氮化铝双端固支音叉型微谐振器
《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》2024年第12期1322-1330,共9页李浩霖 杨清瑞 原毅 刘伯华 孙崇玲 张孟伦 
国家重点研发计划资助项目(2020YFB2008800).
针对小型化高性能谐振式压力传感器的应用需求,提出一种以压电驱动氮化铝(AlN)双端固支音叉型(DETF)微谐振器为敏感元件的新型压力传感器,并设计加工了其核心元器件.首先,通过理论分析,研究了尺寸参数对谐振器在面内弯曲振动模式下的频...
关键词：微机电系统 压电驱动 双端固支音叉型谐振器 谐振式压力传感器 氮化铝薄膜 
最灵敏单分子检测方法面世
《电子质量》2024年第6期83-83,共1页
据报道,美国威斯康星大学麦迪逊分校研究团队开发出迄今最灵敏的单分子检测和分析方法。利用他们开发的光学微谐振器(微腔)装置,科学家不用借助荧光标签即可观察单个分子,有助更好地了解物质组成部分如何相互作用,从而促进药物发现和先...
关键词：团队开发 单分子检测 美国威斯康星大学麦迪逊分校 微谐振器 论文发表 《自然》杂志 灵敏 
基于微谐振器的圆片级真空封装真空度测试技术被引量：1
《微纳电子技术》2024年第5期162-167,共6页胥超 王敏 杨志 
针对微电子机械系统(MEMS)圆片级封装腔体体积小、传统的真空封装测试方法适用性差的情况,研制了一种用于表征圆片级真空封装真空度的器件——MEMS微谐振器。利用此谐振器不仅可以表征圆片级真空封装真空度,也可用于圆片级真空封装漏率...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 微谐振器 品质因数 真空度 圆片级真空封装 
高品质因数压电驱动氮化铝基悬臂梁微谐振器
《压电与声光》2023年第5期698-704,共7页石帅 杨清瑞 原毅 李浩霖 牛鹏飞 刘伯华 张孟伦 
国家重点研发计划项目(2020YFB2008800)。
针对当前压电驱动悬臂梁谐振器存在加工工艺复杂、成本较高的问题,该文提出了一种基于氮化铝支撑层的新型压电驱动悬臂梁层叠结构,它不仅能有效降低加工难度,还能在实现器件小型化的同时保持较高的品质因数。该文通过理论分析研究了固...
关键词：微机电系统 氮化铝 悬臂梁微谐振器 有限元仿真 品质因数 运动阻抗 
不完全连续三层微梁谐振器中热弹性阻尼研究被引量：1
《传感技术学报》2023年第6期849-859,共11页冶志翔 左万里 刘璇 
国家自然科学基金项目(51705261);浙江省教育厅一般科研项目(Y202248861)。
基于Euler-Bernoulli梁理论和二维傅里叶热传导定律,针对两端固定约束边界条件,通过截面分割法得到不完全连续三层微梁的固有频率,利用格林函数法求解波动温度场分布函数。然后利用能量法,建立了热弹性阻尼(Thermoelastic damping,TED)...
关键词：热弹性阻尼 开槽结构 热弹性耦合振动 微谐振器 品质因数 
基于边缘提取的MEMS谐振器谐振模态识别算法被引量：1
《中国惯性技术学报》2023年第5期490-494,共5页谷留涛 张卫平 卢浩琳 吴雨婷 范重阳 
国家自然科学基金(61574093)。
针对有限元分析方法中工作模态识别问题,提出一种基于边缘提取的MEMS谐振器谐振模态识别算法。首先使用图像灰度化、颜色翻转、边缘提取算法对微谐振器谐振模态的边缘形状进行提取,减少内部结构对识别算法的影响。然后计算不同模态边缘...
关键词：微谐振器 有限元分析 圆形度 偏心率 模态识别 
渐变结构微谐振器光子晶体波导的优选设计
《红外与毫米波学报》2022年第6期1081-1091,共11页吴立恒 王明红 
国家自然科学基金(11375081)。
为获取高品质的单通帯波长信道,设计了三种类型的渐变结构微谐振器光子晶体波导,用FDTD方法研究了这些结构的功率传输谱,并采集功率谱通帯参数对比分析了其输出性能。随微谐振器中心柱半径的增大,每支波导输出端单通帯传输模式表现为从...
关键词：光子晶体波导 渐变结构 时域有限差分 微谐振器 波谱选择 信号增强 周期性变化模式 
微谐振陀螺仪从半球到平面的演变
《半导体光电》2022年第6期1011-1019,共9页谷留涛 张卫平 崔峰 吴雨婷 范重阳 卢浩琳 
微谐振陀螺仪是一种固体波动陀螺,常采用微纳制造工艺进行加工,具有小体积、高性能、低功耗、批量化等特点。自1975年世界上第一个半球谐振陀螺诞生以来,微谐振陀螺的谐振子拓扑结构经历了三维结构到二维结构的演变。文章以拓扑结构的...
关键词：微谐振陀螺仪 微谐振器 半球陀螺仪 环形陀螺仪 四质量块陀螺仪 
一类厚度误差影响下单边微谐振器模态耦合动力学研究
《振动与冲击》2022年第21期325-332,341,共9页冯晶晶 王冲 郝淑英 胡文华 吴梦玉 
国家自然基金(12072233,12072234,12002236);天津市自然科学基金(20JCYBJC00510)。
通过表面加工技术制造的微谐振器不可避免的存在加工误差,该文章引入了用于描述微梁上下表面变化的截面参数,并基于欧拉伯努利梁模型,研究了厚度形态误差下微梁谐振器模态间的耦合振动。应用Galerkin离散和多尺度方法获得了相应的非线...
关键词：微谐振器 截面参数 多尺度法 模态耦合振动 
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