一台清洁超高真空设备通过鉴定  

机构地区：[1]航空航天部511所 信息员

出　　处：《真空科学与技术学报》1990年第4期254-254,共1页Chinese Journal of Vacuum Science and Technology

摘　　要：航空航天部511所,根据卫星用继电器超高真空冷焊试验的要求,于1989年9月建成一台新型清洁超高真空设备。该设备采用制冷机低温泵和溅射离子泵组合抽气。直径300mm的系统在烘烤温度不超过85℃,烘烤时间不超过24h,不另外使用液氮的情况下。

关 键 词：真空冷焊试验 溅射离子泵 烘烤温度 航空航天 低温泵 真空度 

分 类 号：TB7-55[一般工业技术—真空技术]