光学光刻机的未来技术  

Innovative Technics of Optical Lithography Tool in the Near Future

作　　者：程建瑞 

机构地区：[1]上海微电子装备有限公司,上海201203

出　　处：《电子工业专用设备》2011年第11期18-25,共8页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：1集成电路技术路线图1．

关 键 词：集成电路技术 光刻机 光学 IC技术 路线图 

分 类 号：TN705.7[电子电信—电路与系统]