基于Windows Mobile的半导体CVD监控系统的设计与实现  

作　　者：刘颖[1] 厉鲁卫[1] 夏诗怡[1] 

机构地区：[1]浙江农林大学信息工程学院

出　　处：《科技信息》2011年第36期64-64,66,共2页Science & Technology Information

基　　金：浙江农林大学人才启动项目"半导体CVD远程监控系统的研发";项目批准号:2010FR007;浙江省重大科技专项国际合作项目"基于工业PC和PLC的真空设备监控管理系统的研发;项目批准号:2008C14085

摘　　要：CVD(化学气相沉积)镀膜是半导体生产的关键步骤,沉积过程中对工艺参数、调度信息的管理非常重要。本文根据CVD生产的需求,以Visual C++2005为开发平台,在Windows Mobile平台实现了晶圆化学气相沉积工艺参数的无线实时监控管理,其无线监控特性使操作者避免了现场的有毒气体吸入。

关 键 词：化学气相沉积 WINDOWS MOBILE 晶圆镀膜工艺参数 

分 类 号：TP277[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]