微细切削加工技术研究进展  

作　　者：马忠臣[1] 

机构地区：[1]黑龙江省机械科学研究院,哈尔滨150040

出　　处：《机械工程师》2011年第12期I0005-I0009,共5页Mechanical Engineer

摘　　要：微细加工技术是精密加工技术的一个分支,是加工微小尺寸零件的多种技术方法的总称。是各种传统精密加工方法的延伸和半导体加工技术的进一步创新发展而来的一系列加工技术。微型机械与电子技术紧密结合,使种类繁多的微型器件相继问世,广泛地应用于人类生活的众多领域。对工农业、信息、环境、生物医学、空间、国防等领域的发展将产生重大影响,微细加工技术的发展有着巨大的产业化应用前景……

关 键 词：切削加工技术 微细加工技术 半导体加工技术 精密加工技术 微小尺寸 电子技术 微型机械 加工方法 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]