全国半导体设备与材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会(筹)全体大会暨国家标准审定会圆满闭幕  

出　　处：《微纳电子技术》2012年第1期68-68,共1页Micronanoelectronic Technology

摘　　要：全国半导体设备与材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会（筹）全体大会暨国家标准审定会于2011年11月24—25日在深圳市顺利召开，来自全国各地37个单位的55名代表参加了本次会议，参加会议的还有北京电子学会半导体委员会委员与《微纳电子技术》杂志社的代表。与会单位涵盖了国内微光刻技术、光掩模制造技术、微纳米制造技术与半导体掩模制造没备等领域的生产企业、科研院所、高等院校及用户单位。

关 键 词：标准化技术委员会 半导体设备 微光刻技术 国家标准 审定 材料 纳米制造技术 用户单位 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学]