纳米操作研究现状及发展趋势  

Research Status and Development Tendency of Nanomanipulation

作　　者：李东洁[1] 王金玉[1] 尤波[1] 肖万哲[1] 

机构地区：[1]哈尔滨理工大学自动化学院,黑龙江哈尔滨150080

出　　处：《哈尔滨理工大学学报》2011年第6期97-103,共7页Journal of Harbin University of Science and Technology

基　　金：国家自然科学基金(51105117);中国博士后科学基金面上项目(20100471051)

摘　　要：针对目前的纳米操作系统,将其分为基于扫描探针显微镜(SPM)的纳米操作系统、基于电子显微镜(EM)的纳米操作系统、原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)的混合纳米操作系统以及融合虚拟现实(VR)技术的纳米操作系统4类;分别对其发展现状进行了阐述.分析了当前纳米操作方法的研究现状和当今纳米操作的关键技术.最后,通过对纳米操作研究进展的归纳,总结了国内外纳米操作的发展趋势,指出了目前纳米操作技术的优点与不足.The paper states the research status of the nanomanipulation system,dividing them into four types： nanomanipulation system based on scanning probe microscope（SPM）,on electron microscope（EM）,on atomic force microscope（AFM） and scanning electron microscopy（SEM） and integration of virtual reality（VR） technology respectively.The research status of nanomanipulation method is analyzed and the key technologies of present nanomanipulation are summarized.Finally,the domestic and foreign nanomanipulation development tendency is also summarized and the advantages and shortcomings of current nanomanipulation technology are pointed out.

关 键 词：纳米操作系统 纳米操作方法 研究现状 关键技术 

分 类 号：TP24[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]