涡轮分子泵特性及磁悬浮技术的应用  

作　　者：杨实禹[1] 胡志勇[1] 卢金丽[2] 

机构地区：[1]内蒙古工业大学,呼和浩特010051 [2]沈阳第一机床厂技术部,辽宁110142

出　　处：《通用机械》2012年第1期86-89,共4页General Machinery

摘　　要：分子泵作为获得真空环境的核心设备,在半导体与薄膜工业、核物理及表面科学等领域有着广泛的应用前景。介绍了涡轮分子泵的工作原理与基本结构特征,重点阐述了牵引式、涡轮式与复合式三种分子泵的结构、材料与性能特征,最后给出了基于磁悬浮技术的高转速涡轮分子泵承载力计算方法。

关 键 词：分子泵 抽速 压缩比 磁悬浮轴承 

分 类 号：TH38[机械工程—机械制造及自动化]