MOCVD热力学分析软件的开发  

A CAD Software for Thermodynamic Analysis of MOCVD System

作　　者：张冶金[1] 曹小光[1] 刘彩霞[1] 汪爱军[1] 陈维友[1] 刘式墉[1] 

机构地区：[1]吉林大学电子工程系,长春130023

出　　处：《高技术通讯》2000年第1期62-65,共4页Chinese High Technology Letters

基　　金：国家自然科学基金资助项目 ( 6 95 870 0 4)

摘　　要：报导了最新开发的MOCVD热力学分析软件———MOCVDTA,它是一个采用目前比较先进的VCS算法对MOCVD的稳态系统进行单参数及双参数模拟分析的软件。介绍了其功能、特点、使用方法以及适用条件,并且以AsH系统及GaAsCH系统为例进行了模拟,得到了很好的模拟结果。MOCVDTA, a new CAD software for thermodynamic analysis of MOCVD System ,is reported An advanced algorithm called VCS is used in the designation of the software One parameter analysis and two parameter analysis are finished in two certain systems Its function ,characteristic ,usage and limited condition are presented Take As H and As Ga C H for examples, and the good simulating results are obtained

关 键 词：MOCVD 热力学 分析软件 半导体激光器 生长工艺 

分 类 号：TN946.5[电子电信—信号与信息处理]