0.1μm大行程精密定位控制系统的研究  

Research on the 0.1μm Precise and Long-work Range Positioning System

作　　者：米凤文[1] 戴旭涵[1] 沈亦兵[1] 杨国光[1] 

机构地区：[1]浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,杭州310027

出　　处：《仪器仪表学报》2000年第1期89-91,94,共4页Chinese Journal of Scientific Instrument

基　　金：国家高技术 863计划资助项目

摘　　要：本文介绍了一种新型的精密工作台定位控制系统。本控制系统采用伺服电机粗动控制与压电陶瓷精动控制相结合的方法完成对工作台的定位控制 ,并利用衍射干涉光栅测长技术进行实时检测。本系统工作行程 5 0 mm,定位精度± 0 .1μm。This paper presents a new system for precisely positioning of the worktable.In the system,the combination of servo motor for coarse adjustment and the PZT for fine adjustment is applied in positioning the worktable while the diffraction interfere grating technique is utilized for the feedback of the positional signal in real time.The working range of 50mm has been achieved while the positioning accuracy reached ±0.1μm.

关 键 词：精密工作台 精密定位控制 控制系统 

分 类 号：TH703.65[机械工程—仪器科学与技术]