Ka波段0/Π MEMS移相器  

A Ka-band 0/Π MEMS Phase Shifter

作　　者：郁元卫[1,2,3] 朱健[2,3] 姜理利[3] 施毅[1] 

机构地区：[1]南京大学电子科学与工程学院,南京210093 [2]微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室,南京210016 [3]南京电子器件研究所,南京210016

出　　处：《固体电子学研究与进展》2012年第1期68-72,共5页Research & Progress of SSE

摘　　要：报道了一种Ka波段实时延MEMS移相器芯片。该移相器基于开关线式移相器设计原理,集成了4个MEMS三端口直接接触式毫米波开关单元,使用共面波导（CPW）传输线,利用阶梯阻抗的方式实现传输线拐角和CPW空气桥结构的传输线阻抗匹配。芯片采用RF MEMS表面牺牲层工艺制作在400μm厚的高阻硅衬底上,面积为1.4 mm×2.8 mm。测试显示,在34~36 GHz频率范围内,相移误差3.2°,插入损耗2 dB,反射损耗小于-15 dB。A true-time-delay Ka-band 0/∏ MEMS phase shifter is reported, which is based on switched-line design and composed of 4 dc-contact series MEMS switches. The stepped impedance coplanar waveguide （CPW） lines serve to mitigating the mismatch caused by the bend connecters and air-bridge structures. The phase shifter is fabricated on a 400/~m thickness high resistivity silicon wafer using low temperature metal-dielectric surface micromachining process, the chip size is 1.4 min×2.8 mm. Experimental data show a maximum phase error of 3.2°, an insertion loss of 2 dB and a return loss of better than -15 dB from 34GHz to 36 GHz.

关 键 词：KA波段 微机电系统移相器 毫米波微机电系统开关 开关线 

分 类 号：TN623[电子电信—电路与系统] TN385