应用MATLAB研究机器视觉系统的光源特性  

Using MATLAB To Research The Illumination Characteristic On Machinery Vision

作　　者：靳卫国[1] 周莉[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京101601

出　　处：《电子工业专用设备》2012年第2期40-47,共8页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：在研制带有机器视觉系统的半导体专用设备时,光源成像的质量对机器视觉系统起着关键作用。将研究如何利用MATLAB的三维绘图及数字图像处理功能,对光源成像的质量进行可视化及量化评测。In the development of a Machinery Vision for semiconductor equipment,the illumination source imaging quality of Machinery Vision plays a key role in.This paper studies how to use MATLAB 3D Visualization and image processing function,the illumination source imaging quality for visualization and quantification of evaluation.

关 键 词：MATLAB 三维绘图 M文件 光强分布的均匀度 对比度 鲁棒性 

分 类 号：TN307[电子电信—物理电子学]