Cu夹层厚度对ZnO薄膜的光电性能的影响  

作　　者：陈薇薇[1] 刘志学[1] 张冰[1] 赵立萍[1] 

机构地区：[1]牡丹江师范学院新型碳基功能与超硬材料省级重点实验室,黑龙江牡丹江157012

出　　处：《黑龙江科技信息》2012年第6期92-92,共1页Heilongjiang Science and Technology Information

基　　金：牡丹江师范学院研究生学术科技创新项目(yjsxscx2011-05mdjnu);牡丹江师范学院教改工程项目(10-XY01051);牡丹江师范学院科研项目(QY201105)

摘　　要：采用磁控溅射技术在玻璃基底上制备出了具有c轴择优取向的Cu夹层ZnO透明导电薄膜,利用几种表征手段分析了夹层厚度对ZnO薄膜的结构形貌、光电性能的影响。结果表明,随着夹层厚度的增加,薄膜的结晶性降低,透光率降低、电学性能增强。

关 键 词：磁控溅射 ZNO 夹层厚度 

分 类 号：TQ171.727[化学工程—玻璃工业]