磁控溅射功率对掺铝氧化锌薄膜特性的影响  

作　　者：肖立娟[1] 李长山[1] 郝嘉伟[1] 赵鹤平[1] 

机构地区：[1]吉首大学物理与机电工程学院

出　　处：《新材料产业》2012年第3期59-62,共4页Advanced Materials Industry

基　　金：湖南省研究生科研创新项目(CX2011B399);湖南省自然科学基金(09JJ6011);湖南省高等学校科研基金(08A055)

摘　　要：透明导电氧化物（TCO）薄膜因具有在可见光区透明和电阻率低等优异的光电性能,所以被广泛应用于各种光电器件中,例如平面液晶显示器（LCD）、太阳能电池、节能视窗等[1-2]。目前应用和研究最多的是掺锡（Sn）、

关 键 词：薄膜特性 掺铝氧化锌 溅射功率 透明导电氧化物 平面液晶显示器 磁控 太阳能电池 光电性能 

分 类 号：TB383.2[一般工业技术—材料科学与工程]