锶钡比及膜厚对钛酸锶钡薄膜介电行为的影响  

作　　者：赵丽丽[1] 张智翔[1] 高永进[1] 翟春雪[1] 何崇斌[1] 

机构地区：[1]西北大学信息科学与技术学院,陕西西安710127

出　　处：《中国科技信息》2012年第6期54-54,共1页China Science and Technology Information

基　　金：陕西省教育厅自然科学项目(08JK462);陕西省科技厅自然科学项目(SJ08-ZT04)

摘　　要：采用溶胶-凝胶法制备不同锶钡比、不同膜厚的钛酸锶钡薄膜,研究了薄膜的介电行为。性能测试表明,在不同的锶钡比的钛酸锶钡薄膜中,介电性能最好的锶钡比为0.5:0.5,此时介电系数最大介电损耗最小;膜厚与薄膜的介电系数呈线性关系,随膜厚增加薄膜的介电系数线性增加。

关 键 词：溶胶-凝胶法 钛酸锶钡薄膜 介电性能 锶钡比 

分 类 号：TB383.2[一般工业技术—材料科学与工程]