地震勘探用三维MEMS加速度传感器的研究  

Research on 3D MEMS acceleration sensor for seismic exploration

作　　者：谌贵辉[1] 刘建生[1] 李礼[1] 杨帆[1] 

机构地区：[1]西南石油大学电子信息工程学院,四川成都610500

出　　处：《传感器与微系统》2012年第4期70-71,78,共3页Transducer and Microsystem Technologies

基　　金：四川省教育厅青年基金资助项目(10ZB111);四川省高校重点实验室测控技术与自动化科技基金资助项目(SZS2010014)

摘　　要：以MEMS加速度传感器为基础的新型数字地震检波器是地震勘探所用仪器的发展方向之一。介绍了一种三维MEMS加速度检波器结构,这有别于传统三分量MEMS传感器通过用3只MEMS加速度传感器按正交直角组装。并通过PSpice软件对其进行了整体仿真,仿真结果表明其阶跃响应和正弦响应基本和理论分析的结果吻合。Based on the MEMS acceleration sensor,a new type of digital geophone equipment used in seismic exploration is one of the developing directions.The structure of a 3D MEMS acceleration sensor,which is different from the traditional three-component MEMS sensor that is composed of three MEMS accelerometers according to the orthogonal angle assembly is described.The overall simulation is carried out by PSpice software.The simulation result shows that the step response and sinusoidal response mostly correspond with the results of the theoretical analysis.

关 键 词：微机电系统 加速度传感器 仿真 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] P631.4[自动化与计算机技术—控制科学与工程]