PET表面镀SiO_x薄膜的研究进展及应用  

Research Development and Applicationon of SiO_x Films on PET Substrate

作　　者：李春伟[1] 曹奇[1] 张义[1] 张志力 

机构地区：[1]东北林业大学,黑龙江哈尔滨150040 [2]陕西威能检验咨询有限公司,陕西西安710000

出　　处：《现代塑料加工应用》2012年第2期56-59,共4页Modern Plastics Processing and Applications

基　　金：中央高校基本科研业务费专项资金(DL10BB11);东北林业大学工程技术学院大学生创新性实验项目(CX_2011_18)

摘　　要：综述了采用磁控溅射技术和等离子体增强化学气相沉积技术制备SiOx/聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)薄膜的研究进展,探讨了SiOx/PET薄膜阻隔作用机理,此外还阐述了SiOx/PET薄膜的应用状况。The research development of SiOx/polyethylene terephthalate（PET） film prepared by magnetron sputtering and plasma enhanced chemical vapor deposition technique are reviewed,the barrier mechanism of SiOx/PET film is discussed. In addition, the application status of SiOx/PET film is also elaborated.

关 键 词：氧化硅 薄膜 聚对苯二甲酸乙二醇酯 磁控溅射 高阻隔 

分 类 号：TQ320.67[化学工程—合成树脂塑料工业]