超导/半导体兼容技术  

Superconducting/semiconducting Compatible Technologies

作　　者：于宗光[1] 张国华[1] 钱文生 

机构地区：[1]无锡微电子科研中心,无锡214035 [2]东南大学微电子中心,南京210016

出　　处：《微电子技术》2000年第2期1-7,共7页Microelectronic Technology

基　　金：国防预研基金资助项目

摘　　要：本文首先阐述了超导 /半导体兼容技术的应用领域 ,然后给出了超导 /半导体兼容器件、电路、系统的基本构成及优点 ,最后介绍了超导技术的研究热点。In this paper,the application field of superconducting/semiconducting compatible technologies are presented first. Then,the architectures and advantages of superconductiong/semiconducting compatible device,circuit and system are discussed. The research hot point of superconducting technology is also given.

关 键 词：超导 半导体 兼容技术 

分 类 号：TM26[一般工业技术—材料科学与工程] TN03[电气工程—电工理论与新技术]