硅片自动传输系统软硬件设计  

作　　者：陈小铎[1] 

机构地区：[1]信息产业部电子第四十五研究所,甘肃平凉744000

出　　处：《电子工业专用设备》2000年第1期32-38,共7页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：论述了硅片自动传输系统的硬件结构及软件设计思想。重点讨论了接口扩展 ,步进电机、力矩电机、电磁阀驱动电路的设计及软件的编程方法。

关 键 词：硅片 自动传输系统 软件开发 接口扩展 设计 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学] TP311[自动化与计算机技术—计算机软件与理论]