硅片

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光伏单晶硅片冲洗过程中应力分布的研究
《材料导报》2025年第7期39-45,共7页李涛 吕国强 李遇贤 钱益超 张杰 
国家自然科学基金(22268027)。
在光伏单晶硅片冲洗过程中,产生的最大应力可能导致硅片损伤,硅片上应力的分布及硅片上最大应力位置的确定对于降低硅片的损伤程度有重要意义。首先基于矩形板的Levy解模型,计算冲洗过程中不同尺寸硅片上的挠度和应力值;然后,运用ABAQU...
关键词：光伏单晶硅 矩形板Levy解 单晶硅片冲洗 应力 
大尺寸光伏单晶硅制备技术研究进展
《太阳能学报》2025年第3期310-319,共10页康家铭 黄振玲 李太 赵亮 周翔 吕国强 
云南省重点研发项目(202002AB080030,202103AA080003);云南省科技重大专项(202102AB080016,202202AG050012);云南省科技计划项目(202302AD080008)。
针对现有大尺寸光伏级单晶硅多次装料拉晶技术(RCZ)、炉外加料技术(OCZ)、连续装料拉晶技术(CCZ)等制备技术的研究现状及特点进行归纳总结,对比分析几种光伏单晶硅制备技术在大尺寸、高品质、低成本方面的优势和难点,并结合未来硅料来...
关键词：单晶硅 硅片 坩埚 太阳电池 直拉法 
基于近场扫描微波显微镜的芯片内部硅片成像
《电子制作》2025年第5期3-7,共5页刘家宁 杨晓庆 徐宇 王鹏宇 王雪雨 赵宇 谢意 
成都市科技厅项目(2023-JB00-00019-GX);四川省重大科技专项(2023ZDZX0014)。
集成电路芯片的内部结构目前业界内常用X射线和超声波来成像。但是这两种检测手段都有各自的劣势,如X射线产生电离辐射,会对人体产生危害;超声波检测依赖耦合剂,增加操作复杂性。近场扫描微波显微镜(Near-field Scanning Microwave Micr...
关键词：近场扫描微波显微镜 集成电路芯片 电容加载谐振腔 
基于半导体硅片加工的金刚线切片机技术研究
《电子工业专用设备》2025年第1期7-12,54,共7页刘秀坤 
论述了半导体硅片加工机床的现状与发展趋势,研究了金刚线切割半导体的必要性。通过金刚线切割硅片的原理以及切割技术参数,分析了金刚线切片机的关键技术和难点技术,设计出了适用于半导体硅片加工的金刚线切片机。实践证明,采用金刚线...
关键词：金刚线 切片机 张力控制 切割辊 同步控制 
太阳能单晶硅片生产中的冷却水节能技术探索与应用
《中国科技期刊数据库 工业A》2025年第2期174-177,共4页熊昭 
作为能源转型的重要一环,太阳能在中国迎来了前所未有的发展机遇。我国光伏产业已占据全球主导地位,市场占有率超过70%,2023年中国太阳能电池片产量更是达到了545GW。然而,在单晶硅片生产过程中,工艺冷却水系统能耗占厂务能耗的60%,其...
关键词：单晶厂房 工艺冷却水系统 节能优化 水源热泵 热量回收 
半导体行业超纯水处理系统的调试与分析
《中文科技期刊数据库（引文版）工程技术》2025年第2期039-042,共4页张勇 
本文详细分析了某公司超纯水处理系统的试运行过程,重点讨论了调试过程中遇到的技术难点及其解决方案。该系统采用两级抛光、两级超滤等处理工艺,可有效去除水中大分子有机物及金属离子等杂质,达到超纯水中金属离子浓度<0.1 ppt的严苛...
关键词：半导体硅片 超纯水处理系统 系统调试 
高温环境下石墨舟卡点装配性能的数值模拟分析
《太阳能》2025年第2期96-104,共9页鄢庆阳 王刚 冀梦豪 钟歆怡 吕志军 
为了防止石墨舟片在高温环境下发生相对移动或松动,石墨舟卡点通常采用过盈配合的方式进行装配,以增加连接的刚性与支撑的稳定性,设计合理的过盈量对硅片的稳定性及石墨舟卡点的服役性能至关重要。通过有限元模拟方法对石墨舟卡点的压...
关键词：太阳电池 硅片 石墨舟卡点 过盈配合 过盈量 压装力 高温环境 
金刚石线切割单晶硅制绒研究进展
《电源技术》2025年第1期92-98,共7页黄虎一雄 李杰 章金兵 王旭生 
宁波市自然科学基金重点项目(2022J148);宁波市甬江人才工程创新人才项目(2022A-095-G)。
对常用的几种单晶硅片制绒技术,如添加剂辅助碱液刻蚀制绒工艺、酸液刻蚀制绒工艺、金属离子催化的化学制绒以及表面预处理(热处理、机械抛光和电化学预处理)叠加碱液刻蚀制绒工艺等进行了介绍。并对不同工艺的制绒原理、技术特点和应...
关键词：金刚石线切割 单晶硅片 制绒工艺 热处理 
二乙烯三胺对硅片化学机械抛光速率的影响
《润滑与密封》2025年第1期138-143,共6页杨啸 王辰伟 王雪洁 王海英 张新颖 杨云点 盛媛慧 
河北省自然科学基金项目(E2019202367)。
为提高硅衬底化学机械抛光(CMP)的去除速率,在硅衬底抛光液中添加哌嗪(PZ)、二乙烯三胺(DETA)、三乙烯四胺(TETA)、乙醇胺(MEA)4种胺类化合物,对比其对硅片抛光速率促进效果。结果表明,4种胺类化合物对硅片抛光速率的促进作用由高到低...
关键词：化学机械抛光 抛光液 二乙烯三胺 硅衬底 抛光速率 
硅片搬运机器人运动学分析及仿真
《机械设计与制造》2025年第1期307-312,共6页张肄冕 徐方 杜振军 刘明敏 
辽宁省科学技术计划项目(2019JH1/10100005);山东省重大科技创新工程项目(2019JZZY010128)。
硅片搬运机器人被广泛应用于集成电路装备制造业,具有高洁净度、高稳定性、高精度的特点。为进一步提高控制硅片搬运机器人运行不同轨迹时的准确度与稳定性,针对已设计的R-θ型硅片搬运机器人,分析了其基本的传动结构,建立了基于Coppeli...
关键词：硅片搬运机器人 传动结构 D-H CoppeliaSim 仿真 
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