集成电路工艺仿真系统TSUPREM-Ⅳ  

Integrate Circuits Simulation Program TSUPREM-Ⅳ

作　　者：李惠军[1] 

机构地区：[1]山东工业大学电子工程系,济南250061

出　　处：《半导体技术》2000年第3期34-36,63,共4页Semiconductor Technology

摘　　要：SUPREM系列集成电路工艺模拟系统是当今国际上用户群最大的集成电路工艺计算机辅助设计系统。本文介绍该系列系统的最新版本 TSUPREM-Ⅳ。The series of SUPREM process modeling system is one of the IC modeling systems that has the biggest user groups in the world.This paper introduces the newest version about integrated process modeling system TSUPREM-Ⅳ.

关 键 词：集成电路 计算机模拟 工艺仿真系统 TSUPREM-Ⅳ 

分 类 号：TN402[电子电信—微电子学与固体电子学]