多功能阵列式触觉传感器的研究  

Study on the Robot Tractile Sensor for Detecting 3D Contact Force

作　　者：梅涛[1,2] 戈瑜 倪礼宾[1,2] 陈效肯 陈永 倪林 马军 申飞[1,2] 

机构地区：[1]中国科学院合肥智能机械研究所,北京230031 [2]中国科技大学合肥高等研究院,合肥230026

出　　处：《高技术通讯》2000年第3期53-56,共4页Chinese High Technology Letters

基　　金：863计划资助项目!( 863 2 5 4 1)

摘　　要：介绍了一种以MEMS技术制作的可定量获取三维接触力信息的 4× 8阵列触觉传感器的结构与工艺 ,提出一种新颖的三维接触力信息的获取与处理方法 ,并给出了实现接触、分布压、接触总力、滑动状态等多种功能的实验结果和主要的技术指标。A robot tactile sensor for detecting 3D contact force is developed by MEMS technology. Design analysis, fabrication procures, data proccesing system and a novel decoupling method, expremental results and specification of the tactile sensor are presented.

关 键 词：阵列触觉传感器 结构 传感信息采集 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]