过渡金属氮氧化物制备方法的研究进展  

Research Progress of Preparation Methods for Transition Metal Nitrogen Oxides

作　　者：汪广进[1] 余意[1] 程凤[1] 梁聪[1] 徐甜[1] 潘牧[1] 

机构地区：[1]武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室,武汉430070

出　　处：《材料导报》2012年第9期27-31,共5页Materials Reports

基　　金：国家高技术研究发展计划(863)重大项目(2008AA11A106)

摘　　要：综述了近10年来过渡金属氮氧化物的制备方法,主要包括溅射法(磁控溅射法和等离子体溅射法)、化学气相沉积法(等离子体增强化学气相沉积法、低压化学气相沉积法和催化化学气相沉积法)和化学合成法(氨解法、原位热解法和氮化物氧化法)三大类,并总结了常用的溅射法和化学气相沉积法合成技术参数。Preparation methods of transition metal nitrogen oxides used in recent years are intensively introduced, including magnetron sputtering, plasma sputtering, plasma enhanced chemical vapor deposition, low pressure chemical vapor deposition, catalytic chemical vapor deposition, ammonolysis process, in situ pyrolysis, nitride oxidation etc. The technical parameters for common sputtering and chemical vapor deposition are concluded.

关 键 词：过渡金属氮氧化物 溅射法 化学气相沉积法 化学合成法 

分 类 号：TQ127.11[化学工程—无机化工]