集成微机械传感器的最新进展  

出　　处：《电子测试》2000年第3期190-193,共4页Electronic Test

摘　　要：微机电系统(MEMS)的迅速发展改变了设计者观察硅基微机械部件的方法。将这些结构同调整和处理电路、校准存储、与外界接口等结合起来的种种努力,现已到了收获季节。集成更多的片上功能已获得部分成功,显示这种想法的商业可行性。有趣的是,一些设计者已在致力于下一代集成硅传感器。

关 键 词：微机电系统 微机械传感器 集成电路 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]