光激励微硅梁谐振机理研究  

Study on the Mechanism of Optically Excited Micro Silicon Beam Vibration

作　　者：顾利忠[1] 

机构地区：[1]清华大学自动化系,北京100084

出　　处：《中国激光》2000年第3期253-256,共4页Chinese Journal of Lasers

基　　金：国家自然科学基金!(6887008)

摘　　要：用实验的方法研究了微硅梁在光激励下产生谐振的机理 ,解释了微硅梁在光激励下的谐振是由于光 热The optically excited vibrating mechanism of the micro silicon beam is experimentally studied. It is shown that the energy transforms from optical energy to heat and to mechanical energy is responsible for the vibration.

关 键 词：光激励 微硅梁 谐振器 微机械元件 

分 类 号：TN752[电子电信—电路与系统]