自聚焦伺服型激光测微仪的控制系统研究与开发  

The Control System Design for an Auto-Focusing Servo Laser Micrometer

作　　者：孔健[1] 张剑[1] 刘泳[1] 万德安[1] 

机构地区：[1]同济大学机械工程系,上海200092

出　　处：《机械工程师》2000年第5期50-51,共2页Mechanical Engineer

基　　金：上海市自然科学基金!95IE14036

摘　　要：介绍了自聚焦伺服型激光测微仪的控制系统的硬件电路接口及监控软件的设计与实现技术。通过实验验证了控制系统的软、硬件设计符合测微仪的测量要求。This paper presents a technique on the control system constructing and the single-chip compute r programtheng of an auto-focusing servo laser micrometer. And the control system validity is confirmed by the results of experiment.

关 键 词：自聚焦伺服 激光测微仪 控制系统 位移测量 

分 类 号：TH822[机械工程—仪器科学与技术] TP274.5[机械工程—精密仪器及机械]