硅微加速度计的接口检测电路的研究  

作　　者：李万玉 阮爱武[2] 罗晋生[3] 冯培德 

机构地区：[1]航空工业总公司第618研究所七室,西安710065 [2]西北工业大学自动控制系,西安710072 [3]西安交通大学电子与信息学院,西安710049

出　　处：《仪器仪表学报》2000年第2期170-172,共3页Chinese Journal of Scientific Instrument

摘　　要：研究了微加速度计的电容变化率为 10 - 7～ 10 - 8时的微弱输出信号的检测技术 ,这是微机械器件研制中具有普遍性的技术难点。在研究检测微小电容变化量的积分电路的基础上 ,进一步采用了可抑制低频噪声和漂移的相关双采样技术 ,以及抑制由开关的电荷注入引起的误差的技术。这些全新的技术思路和措施可望达到检测 10 - 7～ 10 -

关 键 词：硅微加速度计 寄生电容 积分电路 电荷注入 

分 类 号：TH824.4[机械工程—仪器科学与技术]