表面微观形貌测量中的光聚焦检测法  

作　　者：孔健[1] 万德安[1] 

机构地区：[1]同济大学机械工程系,200092

出　　处：《上海机床》2000年第1期28-30,共3页Shanghai Machine Tool

摘　　要：随着超精加上表面质量的不断提高,对表面微观形貌的测量技术的要求也越来越高。本文介绍了非接触光学评测技术中的光聚焦检测法。其具有高速、高分辨率、在线测量以及仪器小型化等优点。有着广泛的应用领域。

关 键 词：表面微观形貌 测量 光聚焦检测法 非接触测量 

分 类 号：TG84[金属学及工艺—公差测量技术]