潘宁型磁控管溅射源  

作　　者：马兵 

出　　处：《等离子体应用技术快报》2000年第7期13-14,共2页

关 键 词：潘宁型 磁控管溅射源 等离子体源 

分 类 号：TL629.1[核科学技术—核技术及应用] TN123[电子电信—物理电子学]