电化学微/纳米加工技术  

作　　者：张杰[1] 贾晶春[1] 朱益亮 韩联欢[1] 袁野[1] 时康[1] 周剑章[1,2] 田昭武[1,2] 田中群[1,2] 詹东平[1,2] 

机构地区：[1]厦门大学化学化工学院化学系,福建厦门361005 [2]厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室,福建厦门361005

出　　处：《大学化学》2012年第3期1-8,共8页University Chemistry

基　　金：国家自然科学基金(No.91023006;91023047;91023043);中央高校基本科研业务费专项资金(No.2010121022)

摘　　要：介绍电化学微/纳米加工技术,特别是厦门大学电化学微/纳米加工课题组建立起来的约束刻蚀剂层技术,旨在让广大师生了解这一特种加工技术,共同促进我国电化学微/纳米加工技术的研究及产业化进程。

关 键 词：微/纳米加工技术 电化学微/纳米加工 约束刻蚀剂层技术 

分 类 号：O646[理学—物理化学]