约束刻蚀剂层技术

作品数：17被引量：31H指数：4
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面向半导体器件的电化学微纳制造技术被引量：4
《厦门大学学报（自然科学版）》2020年第5期747-755,共9页韩联欢 杜炳谦 许瀚涛 时康 周剑章 杨防祖 詹东平 田昭武 
由于电化学加工技术无工具磨损、无残余应力、无表层和亚表层损伤和热效应,在先进制造领域具有不可替代的作用.面对超大规模集成电路、微纳机电系统和微纳器件等新兴产业的重大需求,电化学微纳加工技术应运而生.围绕“微纳米尺度空间限...
关键词：约束刻蚀剂层技术 电化学微加工 电化学纳米加工 先进制造 半导体微纳器件 半导体晶圆 
基于约束刻蚀原理的电化学微纳加工研究进展
《中国科学：化学》2017年第5期594-602,共9页韩联欢 何权烽 赵学森 曹永智 胡振江 闫永达 田昭武 詹东平 
国家自然科学基金(编号:21573054,91323303,21321062);机械制造系统工程国家重点实验室开放课题资助项目
与机械加工相比,电化学加工技术具有无刀具磨损、无热效应、无机械损伤、加工效率高等优点,而且适用于柔性、脆性及超硬材料,具备传统方法难以实现的复杂结构加工能力,因而在航空航天、汽车、微电子等领域有着重要应用,日益成为一种重...
关键词：电化学微纳加工 电化学加工 约束刻蚀剂层技术 外场调制 电极过程动力学 
电化学微/纳米加工技术被引量：3
《大学化学》2012年第3期1-8,共8页张杰 贾晶春 朱益亮 韩联欢 袁野 时康 周剑章 田昭武 田中群 詹东平 
国家自然科学基金(No.91023006;91023047;91023043);中央高校基本科研业务费专项资金(No.2010121022)
介绍电化学微/纳米加工技术,特别是厦门大学电化学微/纳米加工课题组建立起来的约束刻蚀剂层技术,旨在让广大师生了解这一特种加工技术,共同促进我国电化学微/纳米加工技术的研究及产业化进程。
关键词：微/纳米加工技术 电化学微/纳米加工 约束刻蚀剂层技术 
高山安可仰,徒此揖清芬
《今日科苑》2010年第17期29-30,共2页陈燕芬 
作为一位化学家，他十分重视电化学研究方法的创新及相关仪器的研制，首创有用于测定瞬间交流阻抗的选相调辉和选相检波测定法、用于测定超低腐蚀速率的控制电位脉冲技术、用于测定早期局部腐蚀的扫描微电极技术以及建立复制超微复杂三...
关键词：约束刻蚀剂层技术 扫描微电极技术 高山 测定法 化学研究 交流阻抗 脉冲技术 控制电位 
不同类型GaAs上应用约束刻蚀剂层技术进行电化学微加工被引量：2
《物理化学学报》2009年第8期1671-1677,共7页汤儆 王文华 庄金亮 崔晨 
国家自然科学基金(20873112);国家光电子晶体材料工程技术研究中心开放课题(2005DC105003)资助项目~~
应用约束刻蚀剂层技术(CELT)对GaAs进行电化学微加工.研究了刻蚀溶液体系中各组成的浓度比例、GaAs类型、掺杂以及阳极腐蚀过程对GaAs刻蚀加工过程的影响.循环伏安实验表明,Br-可以通过电化学反应生成Br2作为刻蚀剂,L-胱氨酸可作为有效...
关键词：阳极溶解 砷化镓 约束刻蚀剂层技术 刻蚀剂 捕捉剂 
镁合金表面微结构阵列的电化学微加工被引量：5
《物理化学学报》2008年第7期1307-1312,共6页蒋利民 程泽宇 杜楠 李维 田中群 田昭武 
国家863计划项目(2002AA40170);江西省材料工程中心项目(ZX200301013);航空基金项目(04H56011)和江西省教育厅项目资助
研究了镁合金的约束刻蚀微加工方法.通过对电解过程中电极表面氢离子浓度变化以及刻蚀体系对镁合金的腐蚀速率的测量与分析,对一些可能有刻蚀作用的刻蚀体系进行了研究.选用亚硝酸钠作为产生刻蚀剂(硝酸)的前驱体、氢氧化钠作为捕捉剂...
关键词：约束刻蚀剂层技术 镁 三维微加工 电化学 
约束刻蚀剂层技术对金属铝的微结构加工研究被引量：6
《高等学校化学学报》2006年第8期1540-1544,共5页蒋利民 黄选民 田中群 田昭武 
国家'八六三'计划项目(批准号:2002AA40170);南昌航空工业学院材料研究中心项目(批准号:ZX200301013);航空基金项目(批准号:04H56011)资助
采用约束刻蚀剂层技术,以亚硝酸钠为先驱物,通过电化学氧化产生刻蚀剂(硝酸)刻蚀铝,并以NaOH为捕捉剂,在电极模板上形成约束刻蚀剂层.在金属铝表面加工出梯型槽微结构,加工分辨率约为500 nm.通过测量表面氢离子浓度,对捕捉剂的约束效果...
关键词：约束刻蚀剂层技术 微机电系统 铝 微加工 电化学 
微圆盘电极技术测定表面化学微加工时的约束刻蚀剂浓度分布被引量：3
《物理化学学报》2006年第4期507-512,共6页汤儆 马信洲 何辉忠 张力 林密旋 曲东升 丁庆勇 孙立宁 
国家高新技术发展规划(863项目)(2002AA404170);福建省自然科学基金计划资助项目(E0520001)
利用微圆盘电极技术,测定了KBr、L-胱氨酸和硫酸组成的刻蚀溶液体系中Pt电极表面电化学氧化产生的刻蚀剂Br2浓度分布,为约束刻蚀剂层技术(CELT)中刻蚀体系的选择和优化提供更直观的依据.GaAs表面CELT微加工实验证明了用微圆盘电极测得...
关键词：约束刻蚀剂层技术 微圆盘电极 L-胱氨酸 GAAS 浓度分布 
镍表面三维微图形的复制加工被引量：2
《电化学》2004年第3期249-253,共5页刘柱方 蒋利民 汤儆 张力 田中群 田昭武 刘品宽 孙立宁 
科技部 863计划项目 (2 0 0 2AA40 41 70 )资助
　运用约束刻蚀剂层技术(CELT)在金属镍(Ni)表面实现三维微图形加工,以规整的三维齿状微结构作模板,获得可有效CELT加工的化学刻蚀和捕捉体系,在Ni表面得到了与齿状结构互补的三维微结构并应用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)...
关键词：镍 三维微图形 复制加工 约束刻蚀剂层技术 化学刻蚀 捕捉体系 微系统技术 
金属铜表面的三维齿状图形的化学微加工被引量：6
《应用化学》2004年第3期227-230,共4页刘柱方 蒋利民 汤儆 刘品宽 孙立宁 田中群 田昭武 
科技部"八六三"计划资助项目 (2 0 0 2AA40 4170 )
运用约束刻蚀剂层技术 (CELT)在金属铜 (Cu)表面实现了三维微图形加工 ,取得成功的关键因素在于寻找到能对Cu进行有效CELT加工的化学刻蚀和捕捉体系。采用规整的三维齿状结构为模板 ,在Cu表面得到了与齿状结构模板互补的三维微结构。采...
关键词：约束刻蚀剂层技术(CELT) 金属铜 三维微加工 化学刻蚀 
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