何辉忠

作品数:1被引量:3H指数:1
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供职机构:厦门大学更多>>
发文主题:醋酸锌甘油锌合成温度前驱物气敏更多>>
发文领域:金属学及工艺一般工业技术电子电信更多>>
发文期刊:《物理化学学报》更多>>
所获基金:国家高技术研究发展计划福建省自然科学基金更多>>
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微圆盘电极技术测定表面化学微加工时的约束刻蚀剂浓度分布被引量:3
《物理化学学报》2006年第4期507-512,共6页汤儆 马信洲 何辉忠 张力 林密旋 曲东升 丁庆勇 孙立宁 
国家高新技术发展规划(863项目)(2002AA404170);福建省自然科学基金计划资助项目(E0520001)
利用微圆盘电极技术,测定了KBr、L-胱氨酸和硫酸组成的刻蚀溶液体系中Pt电极表面电化学氧化产生的刻蚀剂Br2浓度分布,为约束刻蚀剂层技术(CELT)中刻蚀体系的选择和优化提供更直观的依据.GaAs表面CELT微加工实验证明了用微圆盘电极测得...
关键词:约束刻蚀剂层技术 微圆盘电极 L-胱氨酸 GAAS 浓度分布 
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