干涉仪激光波长定期溯源是产品质量的保证  

作　　者：石春英[1] 钱进[1] 刘秀英[1] 殷聪[1] 蔡山[1] 

机构地区：[1]中国计量科学研究院,北京100013

出　　处：《工业计量》2012年第4期57-58,共2页Industrial Metrology

摘　　要：激光干涉仪是大型精密制造加工企业常用的工业生产线上的监测仪器,激光光源精度是激光干涉仪测量准确可靠的基本保证。随着国内引进的干涉仪数量的增加,激光干涉仪光源出现问题的情况有显著上升趋势。为了保证工业生产的质量,对干涉仪光源的定期检测溯源是非常必要的。

关 键 词：长度测量 在线监测 激光干涉仪 稳频激光 频率锁定 

分 类 号：TH744.3[机械工程—光学工程]