脉冲时间间隔对激光烧蚀Si粒子密度分布的影响  

Effect of Pluse Time Interval on Si Particle Density Distribution by Laser Ablation

作　　者：褚立志[1,2] 李艳丽[1] 邓泽超[1] 丁学成[1] 赵红东[2] 傅广生[1] 王英龙[1] 

机构地区：[1]河北大学物理科学与技术学院,保定071002 [2]河北工业大学信息工程学院,天津300401

出　　处：《人工晶体学报》2012年第4期1049-1052,共4页Journal of Synthetic Crystals

基　　金：国家重点基础研究发展计划(973)(2011CB612305);国家自然科学基金(10774036);河北省自然科学基金(E2011201134;E2012201035);河北省光电信息材料重点实验室资助的课题

摘　　要：采用Monte Carlo方法,对脉冲激光烧蚀所产生的烧蚀粒子在环境气体中的输运过程进行了数值模拟。研究了不同脉冲时间间隔与交叠区位置振荡幅度之间的关系,结果表明脉冲时间间隔影响了交叠区的振荡强弱,随着脉冲时间间隔的增加,交叠区的振荡幅度减小,脉冲时间间隔为10μs时达到最小值,而后开始增大。所得结果为进一步研究烧蚀粒子在环境气体中的输运动力学过程提供了理论依据。The transport process of Si particles produced in ambient gases by pulsed laser ablation was simulated by using Monte Carlo method. The effect of pulse interval on the mixed region was studied. The results show that the oscillation of mixed region is decided by pulse interval. The oscillation amplitude of the mixed region first decreased to a minimum at 10 μs of pulse interval and then increased with increasing pulse interval. These results provide theoretical foundation for the further investigation of the transport dynamics of the ablated particles in ambient gases by pulsed laser deposition.

关 键 词：脉冲激光烧蚀 MONTE CARLO模拟 纳米SI晶粒 交叠区 

分 类 号：O78[理学—晶体学]