纳米SI晶粒

作品数：21被引量：44H指数：4
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激光烧蚀硅靶下荷电粒子和纳米晶粒的电流响应研究被引量：1
《人工晶体学报》2016年第7期1736-1740,共5页褚立志 于燕超 邓泽超 丁学成 赵红东 王英龙 
河北省自然科学基金(A2015201166);国家级大学生创新创业训练计划项目(201410075034);河北省光电信息材料重点实验室资助课题
采用波长为308nm的XeCl脉冲准分子激光器，在5-50Pa的Ar气压下烧蚀高阻抗单晶硅（Si）靶。在烧蚀点正前方、距靶1．5cm处放置一个中心开孔直径为2mm的挡板，挡板后面上下对称放置两个极板，然后串联一个标准电阻接地，电阻大小为10Ω，...
关键词：脉冲激光烧蚀 纳米SI晶粒 尺寸 电流 
脉冲激光沉积纳米Si晶粒气相生长的蒙特卡罗模拟
《河北大学学报（自然科学版）》2014年第3期248-252,共5页傅广生 郭瑞强 秦爱丽 丁学成 王英龙 
973计划前期研究专项(2011CB612305);河北省自然科学基金资助项目(E2012201035;E2011201134)
采用蒙特卡罗(Monte Carlo)模拟方法,引入粘连成核模型,模拟了脉冲激光烧蚀制备纳米Si晶粒的气相成核与长大过程,并研究了初始烧蚀Si粒子总数对纳米晶粒尺寸和密度分布的影响.研究结果表明:随着初始烧蚀Si粒子总数增大,纳米晶粒数目增多...
关键词：粘连成核 蒙特卡罗模拟 脉冲激光烧蚀 尺寸分布 
散射电场对激光烧蚀制备纳米Si晶粒分布和尺寸的影响
《河北大学学报（自然科学版）》2014年第2期137-142,共6页王英龙 宗煜 褚立志 邓泽超 丁学成 
973计划前期研究专项资助项目(2011CB612305);河北省自然科学基金资助项目(E2012201035;E2011201134)
在10Pa的氩气环境下采用了脉冲激光烧蚀技术(PLA),通过引入散射电场沉积制备了纳米Si晶粒薄膜.X线衍射谱(XRD)和Raman谱测量均证实了在薄膜中已经形成了纳米Si晶粒;利用扫描电子显微镜(SEM)对所制备的薄膜进行了形貌表征.结果表明,纳米S...
关键词：纳米SI晶粒 散射电场 激光烧蚀 平均尺寸 
Ar环境气压对纳米Si晶粒成核区范围的影响被引量：3
《物理学报》2012年第10期463-467,共5页褚立志 邓泽超 丁学成 赵红东 王英龙 傅广生 
国家重点基础研究发展计划(批准号:2011CB612305);国家自然科学基金(批准号:10774036);河北省自然科学基金(批准号:E2008000631;E2011201134);河北省光电信息材料重点实验室资助的课题~~
为了研究不同环境气压条件下纳米Si晶粒成核区的范围,采用波长为308 nm的XeCl脉冲准分子激光器,分别在1—200 Pa的Ar气环境下,烧蚀高阻抗单晶Si靶,在距离烧蚀点正下方2.0 cm处水平放置一系列单晶Si或玻璃衬底,沉积制备了纳米Si薄膜.Rama...
关键词：脉冲激光烧蚀 纳米SI晶粒 环境气压 成核区 
低压环境中外加氩气流对激光沉积纳米硅晶粒尺寸及分布的影响被引量：1
《人工晶体学报》2012年第5期1211-1215,共5页王英龙 高建聪 褚立志 邓泽超 丁学成 傅广生 
国家重点基础研究发展计划(973)(2011CB612305);国家自然科学基金(10774036);河北省自然科学基金(E2011201134;E2012201035);河北省高等学校科学研究项目(Q2012084)
采用脉冲激光沉积(PLD)技术,在烧蚀点正上方0.35 cm、距靶0.7 cm处引入Ar气流,保持环境气压0.3 Pa,烧蚀高阻抗单晶硅(Si)靶。在烧蚀点正下方0.35 cm,距靶0.5 cm、0.7 cm、1.4 cm、2.1 cm、2.8 cm、3.0 cm和3.5cm处水平放置衬底来收集纳...
关键词：脉冲激光烧蚀 纳米SI晶粒 尺寸 
脉冲时间间隔对激光烧蚀Si粒子密度分布的影响
《人工晶体学报》2012年第4期1049-1052,共4页褚立志 李艳丽 邓泽超 丁学成 赵红东 傅广生 王英龙 
国家重点基础研究发展计划(973)(2011CB612305);国家自然科学基金(10774036);河北省自然科学基金(E2011201134;E2012201035);河北省光电信息材料重点实验室资助的课题
采用Monte Carlo方法,对脉冲激光烧蚀所产生的烧蚀粒子在环境气体中的输运过程进行了数值模拟。研究了不同脉冲时间间隔与交叠区位置振荡幅度之间的关系,结果表明脉冲时间间隔影响了交叠区的振荡强弱,随着脉冲时间间隔的增加,交叠区的...
关键词：脉冲激光烧蚀 MONTE CARLO模拟 纳米SI晶粒 交叠区 
外加氦气流下脉冲激光沉积制备纳米硅晶粒成核区宽度的计算被引量：1
《中国激光》2011年第10期145-149,共5页邓泽超 罗青山 丁学成 褚立志 梁伟华 陈金忠 傅广生 王英龙 
国家973计划前期研究专项(2011CB612305);河北省自然科学基金(E2008000631;E2011201134);河北省教育厅基金(2009308)资助课题
在室温、10 Pa氦气氛围中,采用脉冲激光沉积(PLD)技术,通过在烧蚀羽辉正上方距靶面不同位置垂直引入一束氦气流,在烧蚀点正下方与烧蚀羽辉轴线平行放置的衬底上沉积了一系列纳米Si晶薄膜。扫描电子显微镜(SEM)、拉曼(Raman)散射光谱和X...
关键词：薄膜 纳米SI晶粒 成核区宽度 脉冲激光沉积 外加气流 类平抛运动 
不同能量密度下脉冲激光烧蚀制备纳米Si晶粒成核生长动力学研究被引量：4
《人工晶体学报》2011年第6期1547-1551,共5页邓泽超 罗青山 胡自强 丁学成 褚立志 梁伟华 陈金忠 傅广生 王英龙 
973计划前期研究专项(2011CB612305);河北省自然科学基金(E2008000631,E2011201134);河北省教育厅基金(2009308)资助课题
在室温、10 Pa氩气环境下,采用脉冲激光烧蚀(PLA)技术,通过改变激光能量密度,在烧蚀点正下方、与烧蚀羽辉轴线平行放置的衬底上沉积制备了一系列纳米Si晶薄膜。采用SEM、Raman散射谱和XRD对纳米Si晶薄膜进行了表征。结果表明:沉积在衬...
关键词：脉冲激光烧蚀 Si纳米晶粒 能量密度 成核生长动力学 
脉冲激光烧蚀过程中阻尼系数的角度分布
《功能材料》2011年第B11期825-827,831,共4页王英龙 翟小林 丁学成 王世俊 梁伟华 邓泽超 褚立志 傅广生 
国家重点基础研究发展计划(973计划)前期研究专项资助项目(2011CB612305);国家自然科学基金资助项目(10774036);河北省自然科学基金资助项目(E2008000631)
采用脉冲激光烧蚀(PLA)技术,在半圆环衬底上制备了含有纳米晶粒的硅(Si)晶薄膜。分析了纳米Si晶粒尺寸和阻尼系数随角度和压强的变化关系。使用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和拉曼光谱仪(Raman)对其表面形貌和结构进行了表征...
关键词：纳米SI晶粒 脉冲激光烧蚀 平均尺寸 阻尼系数 
电场对脉冲激光沉积纳米Si晶粒尺寸和面密度分布的影响被引量：2
《河北大学学报（自然科学版）》2011年第1期20-23,41,共5页王英龙 陈超 丁学成 褚立志 邓泽超 
国家自然科学基金资助项目(10774036);河北省自然科学基金资助项目(E2008000631);河北大学自然科学基金资助课题
为了研究外加电场对脉冲激光沉积纳米Si晶粒的影响,采用XeCl准分子激光器,烧蚀高阻抗单晶Si靶,在10Pa氩气环境下,调整外加电压的强度,沉积制备了一系列Si薄膜.X线衍射(XRD)谱仪、拉曼(Raman)谱、扫描电子显微镜(SEM)图像均显示纳米Si晶...
关键词：纳米SI晶粒 激光烧蚀 外加电场 平均尺寸 
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