MEMS流量传感器  

作　　者：齐立锋[1] 刘智敏[1] 陈冠中[1] 徐兴烨[1] 秦雪[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨150001

出　　处：《中国电子商务》2012年第14期110-111,共2页E-commerce in China

摘　　要：上个世纪五六十年代，在各行各业大量需要测量出流量参数的背景下，各种流量传感器不断涌现。这几十年来，微机电系统（MEMS）也取得了非常重要的发展，传统的流量传感器也需要有更加高的精度，更加的集成化，更好的可靠度，因此MEMS流量传感器成为了重要的研究对象。本文对MEMS流量传感器的发展历程，测量原理，分类发展等内容作了必要的介绍，也对一些常用的MEMS流量传感器的特点进行了描述。在文章的最后部分，还给出了MEMS流量传感器的三个主要发展阶段，并且对各阶段的特征给出了介绍，对未来的发展给出了展望。

关 键 词：MEMS 流量传感器 进展 

分 类 号：TP2[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]