TX1800磁控溅射镀膜机冷却系统的改进  

Improvement of the cooling system for TX1800 magnetron sputtering machine

作　　者：关亚兰[1] 崔秀清[2] 刁训刚[1] 王涛[1] 

机构地区：[1]北京航空航天大学物理科学与核能工程学院,北京100083 [2]中国运载火箭技术研究院五一九厂,山西长治046012

出　　处：《真空》2012年第5期62-64,共3页Vacuum

基　　金：国家自然科学基金重点资助项目(90305026);中国工程物理研究院双百人才基金资助项目(2005R0504)

摘　　要：本文以北京天瑞星公司生产的大型TX1800商用磁控溅射镀膜机为例,简要分析了此磁控溅射镀膜机中靶的结构及配套冷却系统,引入航空航天领域应用较多的层板发汗冷却。在此基础上,提出了一种全新的思路,对冷却系统进行了重新设计。In this paper, structure of the target and corresponding cooling-system were analyzed briefly based on Beijing Tian Rui Xing company＇s TX1800 magnetron sputtering machine. Then the conception of platelet ＆ transpiration cooling which is used extensively in the field of aerospace was introduced. On this basis, the cooling-system is redesigned,proposing a new improvement thought.

关 键 词：靶:层板:发汗冷却 

分 类 号：TH128[机械工程—机械设计及理论]