关亚兰

作品数：2被引量：2H指数：1
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供职机构：北京航空航天大学物理科学与核能工程学院更多>>
发文主题：层板发汗冷却TX1更多>>
发文领域：机械工程更多>>
发文期刊：《真空与低温》《真空》更多>>
所获基金：中国工程物理研究院双百人才基金国家自然科学基金更多>>
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TX1800磁控溅射镀膜机冷却系统的改进被引量：2
《真空》2012年第5期62-64,共3页关亚兰 崔秀清 刁训刚 王涛 
国家自然科学基金重点资助项目(90305026);中国工程物理研究院双百人才基金资助项目(2005R0504)
本文以北京天瑞星公司生产的大型TX1800商用磁控溅射镀膜机为例,简要分析了此磁控溅射镀膜机中靶的结构及配套冷却系统,引入航空航天领域应用较多的层板发汗冷却。在此基础上,提出了一种全新的思路,对冷却系统进行了重新设计。
关键词：靶:层板:发汗冷却 
TX1 800磁控溅射镀膜机冷却系统的改进被引量：1
《真空与低温》2012年第3期142-145,共4页关亚兰 崔秀清 刁训刚 王涛 
国家自然科学基金重点资助项目(90305026);中国工程物理研究院双百人才基金资助项目(2005R0504)
以北京天瑞星公司生产的大型TX1 800商用磁控溅射镀膜机为例,分析了磁控溅射镀膜机靶的结构及配套冷却系统,引入航空航天领域应用较多的层板发汗冷却。在高温下气化蒸发带走基材热量,达到材料降温的目的。通过层板间的特殊结构实现对流...
关键词：靶 层板 发汗冷却 
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